顯影液 – 氫氧化四甲基銨溶液 TMAH Series顯影液 – 碳酸鉀溶液 K2CO3 Series顯影液 – 碳酸鈉溶液 Na2CO3 Series光阻剝離液 – 氫氧化鉀溶液 KOH Series光阻剝離液 – 氫氧化鈉溶液 NaOH Series光阻剝離液 – 無機鹼混和液光阻剝離液 – 有機鹼混合液光阻剝離液 – 有機混合溶劑光阻稀釋液 – 丙二醇甲醚乙酯 PGMEA清洗液 – 二甲亞 DMSO清洗液 – 異丙醇 IPA